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第十一章:国产第一台极紫外光刻机(1 / 1)

此时大家都是通过外面的屏幕来观看里面的实验。

因为人太多,就会带入很多细菌和灰尘。

此时苏晨在实验室中担任指挥,其他科研人员都在紧急调配。

里面是一个非常小巧的机器。

大家看了以后都很疑惑。

因为极紫外光刻机大家不是没有见过。

体型非常庞大!

毫不夸张的说,相当于一辆公共汽车大小!

通体白色,非常占地方。

而净室里的机器看去只有一张办公桌那么大,机型是黑色的。

看去就像是国外生产光刻机的斯麦尔集团生产的阉割版。

让人有些担心,这种机器真的可以做到7nm、5nm,乃至未来几年会出现的3nm的光刻任务吗?

此时里面的苏晨已经恢复了精神,面色平静,没有一丝感情。

似乎他已经没有体力让自己兴奋起来!

“老师,实验可以开始了。”

苏晨开口说道。

杨平按下麦克风的按钮:“第9次芯片生产实验,启动!”

随着一声令下。

科研人员操作者机械臂,吸附起了一块12英寸的晶圆。

放入正在传送的履带之后,晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。

旁边的操作人员紧张的汇报着数据。

因为过于紧张,连声音都有些颤抖。

“报告……启动程序无故障!”

“电压稳定设备运行正常!”

“监控设备运行正常!”

“……”

此时整个研究室鸦雀无声,落针可闻!

大家仿佛可以听到,机器中低落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。

要知道,这东西的声音人类几乎不可能捕捉到!

但是此时大家就是可以听到!

出了仪器发出的细微声响之外。

整个净室,哪怕大家相距胜远,都能听到彼此的呼吸声!

苏晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕,看着显示屏幕的光刻进度条。

进度条一点点的衍生,他的手心开始湿润了起来。

这场实验已经接近十次了!

这次是最接近成功的一次!

极紫外光刻机太重要了。

有了它,只要有了芯片图谱,就可以制造出来相应的芯片!

而就在不久之前,杨平实验了5nm芯片图谱,还在实验阶段!

而今天,他们就是要利用光刻机生产5nm芯片!

如果真的可以做到这些,那么国家的半导体产业将会迈出史诗性的第一步!

终于,在万众瞩目中,进度条拉满!

一块晶圆被吐了出来,机械臂再度吸起来,然后放入蚀刻机。

这个步骤不复杂,只是将暴露的单晶硅蚀刻掉。

露出光刻后的凹槽。

然后注入离子,让单晶硅拥有晶体管开关的特性。

在用铜进行晶体管间的连接工作。

在芯片彻底产出之前,大家都不敢说话。

时间一分一秒过去,终于到了切割的步骤。

终于,晶圆被切割成了700片小的芯片。

苏晨这个时候立刻去开始查看数据。

随后他憔悴的脸露出了淡淡的微笑。

他看向自己的老师,对方已经明白了结果。

“我宣布,国产第一台极紫外光刻机,研制成功!”

声音徐徐落下,所有科研人员都猛地起身,发出了雷鸣一般的掌声!

甚至有的人激烈的拥抱在了一起!

“成功了!!!!5nm芯片啊!!!!”

“我们可以挺起腰杆来做人了!”

“极紫外光刻机!5nm芯片!!!外国佬,就你们有5nm?”

……

是的,接下来只要能研究出来图谱,那么这台光刻机就能制造出来!

几位院士也老泪纵横。

他们没想到居然真的成功了!

其实他们来之前,还是觉得这次会失败的!

但是现实告诉了他们结果!

“小苏,干的漂亮啊!”

“杨平,你后继有人了!这次你和小苏都立了大功啊!”

“我国有杨平和苏晨,半导体行业才能如此突飞猛进啊!”

几个院士说的毫不夸张!

杨平研究了芯片图谱出来,而苏晨拿出了光刻机图谱出来。

这一前一后,可以说是相辅相成!

在大家庆祝的时候,只有杨平一个人默默的进入了净室。

他扶着身心俱疲的苏晨一起从净室出来。

“老师,详细的数据报告还需要一会儿时间,我可以再等等。”

苏晨很想等到详细数据报告。

因为刚刚那个数据只是代表着光刻机的生产成功了。

但是看不出良品率的高低。

一台光刻机一定要看良品率。

说白了,一片12英寸的晶圆,可以切割700片手机芯片。

但是能用的只有500左右。

这就是因为良率不行,

那些芯片达不到要求!

说白了这就是斯麦尔的极紫外光刻机的良品率。

而想要测出来良率,就要等这些芯片挨个绑定激活才行。

这最起码还需要几个钟头!

杨平满脸心疼。

“小苏,你已经30个小时没有合眼了,还是先休息一下吧!”

苏晨却固执的摇了摇头。

杨平叹了口气。

他知道自己这个学生的性格。

决定的事情就不会反悔!

而且还得顺毛捋,不然就炸毛。

“也好,你看完详细报告之后,我派人送你回家。”

“让你女朋友来照顾你。”

此时苏晨已经听不清老师在说什么了。

只是点头。

很快,一个工程师兴奋的跑了过来。

“杨院士!详细数据报告出来了!”

“快说!”

“这张12英寸的晶圆去除边角料之后,一共生产了713片芯片!”

“能使用的芯片有555片!”

“我们的良率刷新了世界纪录,达到了%!”

杨平满脸惊讶!

要知道,斯麦尔公司的极紫外光刻机良率只有71%啊!

“小苏,你听到了吗!?”

“小苏!”

杨平骇然发现,苏晨似乎失神了。

很显然是太过疲劳导致的。

“老师,我没事,就是有点累。”

苏晨轻轻摇了摇头,语气十分虚弱。

“快,送苏工回家!”

杨平立刻喊道。

“是!”

苏晨很满意。

他听到了%的数据,立刻就感觉一股热流直逼天灵盖。

这股热流带给了他无限的轻松,以至于他有些停止了思考。

此时周淑伊还在直播间里开着直播。

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